صفحه اصلی متالورژي سیستم های اندازه گیری نیروی اتمی AFP

سیستم های اندازه گیری نیروی اتمی AFP

شرح:

سیستم های اندازه گیری نیروی اتمی AFP : روشهای رایج توصیف فرآیند CMP شامل نیروی اتمی میکروسکوپی (AFM) و پروفایل متری سوزنی می باشد. پروفایلرهای سوزنی میتوانند طول ۲۰۰ میلی متر را اسکن کنند تا توانایی توصیف پلاناریزاسیونریتی سراسری را داشته باشند اما رزولوشن افقی آنها برای بدقت توصیف کردن ترکیب های زیر- میکرونی محدود است. همچنین ممکن است با کشش سوزن با نیرویی افزون بر آنچه سطح می تواند بدون تغییر شکل ناکشان تاب آورد، به سطح آسیب برسانند. AFM ها از پروفایلرها ملایم ترند و رزولوشن افقی بالای مورد نیاز را دارند. اما در تصویر کردن مناطق بزرگتر از ۱۰ میکرومتر* ۱۰۰ میکرومتر توانایی محدودی دارند. یک نوع جدید ابزار اندازه گیری (AFP پروفایلر نیروی اتمی) طوری پیشرفت کرده است که ترکیبی از رزولوشن درست AFM، توصیف غیرمخرب و اسکن طول های بلند باشد. AFP‌ را می توان برای هم انواع فرآیندهای CMP‌مانند ایزولاسیون شیارهای کم ژرفا (STI)، تنگستن، لایه بین دو لایه دی الکتریک (ILD) (برای اندازه گیری اثراتی مانند فشردگی، فرسایش و تورفتگی) به همان خوبی تصویر کردن نقص ها به کار برد.

قالب بندی : PDF

تعداد صفحات : ۲۸

حجم :‌ ۴٫۳۵MB

لینک دانلود

مشاهده مطالب مرتبط