روش رسوب دهی شیمیایی بخار-سنتز نانوساختارها

شرح:

روش رسوب دهی شیمیایی بخار-سنتز نانوساختارها :  روش رسوب دهی از فاز بخار( CVD) فرایندی است که بوسیله ی آن یک ماده ی جامد از واکنش شیمیایی در فاز بخار بوجود می آید( این واکنش بر روی یک سطح زیرلایه ی گرم شده یا سرد انجام می شود. ماده ی جامد حاصله می تواند یک پوشش، یک پودر و یا یک ماده ی تک کریستال باشد. با تغییر شرایط تجربی، ماده ی زیرلایه، دمای زیرلایه، ترکیب شیمیایی مخلوط گازهای واکنش دهنده، فشار کل جریان های گازی و غیره می تواند مواد با خواص مختلف ایجاد نمود.  شرط لازم برای سنتز به روش CVD وجود ترکیبات فرار است که شامل ترکیبات مورد نیاز برای مواد پوشش باشد. از پیش ماده های گازی می توان به صورت مستقیم استفاده کرد، اما پیش ماده های مایع و جامد باید پیش از وارد شدن به محفظه ی رآکتور تبخیر شوند( مایعات در یک سیلندر، و جامدات در یک تبخیر کننده ی تیوبی گرما داده می شوند)، اتمیزه شوند یا به حالت ایروسل درآیند. هالوژن هایی( فلئوریدها، کلریدها و برومیدهایی) وجود دارند که در آنها فلزات گوناگونی در حالت مایع یا گاز وجود دارد؛ این مواد فرار هستند و گزینه های مناسبی برای ما محسوب می شوند.بیشتر فرایند های کلاسیک بر اساس قانون سنتز شیمیایی( chemosynthesis) است( بسته به اینکه کدام ترکیب هالوژن دار به فرم گاز کاهنده یا اکسید کننده به سمت زیرلایه حرکت کند). به هر حال در بالای دمای ۷۰۰ درجه ی سانتیگراد بیشتر ترکیبات هالوژن دار واکنش پذیر هستند و این مسئله باید در کارخانه های تولید مواد به روش CVD مد نظر قرار گیرد. سنتز شیمیایی شامل واکنش هایی شیمیایی مانند کاهش هیدروژنی، واکنش های کاهشی جانبی،‌کاهش فلز، اکسایش و هیدورلیز و کاربیدی شدن ( carbidization) و نیتروژن دهی( nitrogenization) است.

قالب بندی:pdf

تعداد صفحات: ۲۰

حجم ۷۷۴KB

لینک دانلود

  مشاهده مطالب مرتبط