روش های لایه نشانی – سنتز نانوساختارها

شرح:

روش های لایه نشانی  – سنتز نانوساختارها: لایه نشانی به معنی نشاندن لایه‌ای نازک (Thin film) از ذرات بر روی اجسام مورد نظر در یک محیط دارای خلأ نسبی می‌باشد. این عمل به واسطه‌ی پلاسمای ایجاد شده در این محیط صورت می‌گیرد (پلاسما گازی متشکل از یون‌ها و الکترون‌های آزاد است). عمل لایه نشانی به روش‌های مختلفی قابل انجام است. در روش لایه نشانی بخار فیزیکی (یا PVD) ماده‌ای که لایه نشانی می‌شود از یک جامد یا مایع به دست می‌آید. در روش لایه نشانیِ بخار شیمیایی (یا CVD) ماده‌ای که لایه نشانی می‌شود از بخار ماده‌ای پس از تجزیه‌ی حرارتی آن روی یک سطح داغ به دست می‌آید. در برخی موارد، این بخار به واکنش با گاز محیط یا مواد دیگری که لایه نشانی می‌شوند واداشته می‌شود تا لایه‌ی نازکی از موادی مثل اکسید، نیترید، کربید، یا کربونیتراید تشکیل شود.در واقع پلاسمای محیط در روش لایه نشانیِ بخار شیمیایی نقشی اساسی در تجزیه‌ی (پیش) ماده در فاز بخار دارد. اگر این عمل قرار بود صرفاً با حرارت صورت پذیرد نیاز به دمای فعال سازی بالاتری می‌بود.در روش لایه نشانی بخار شیمیاییِ ارتقا یافته با پلاسما (یا روش PECVD)، در خلأی به همان میزان خلأ مورد استفاده در روش لایه نشانی بخار شیمیایی، بخار پیش ماده توسط پلاسما تجزیه می‌شود. از این روش گاهی برای رسوب‌گذاری آلیاژها، کامپوزیت‌ها و ترکیبات استفاده می‌شود.

قالب بندی:pdf

تعداد صفحات: ۳۰

حجم ۱٫۲۶MB

لینک دانلود

  مشاهده مطالب مرتبط